産業の米と呼ばれる半導体。パソコンやスマートフォンとあらゆるデジタル機器で使用されており、我々の生活に広く深く浸透し、現在の社会を支えています。
ひとくちに「半導体産業」と呼びますが、実は多岐にわたる関連業界の集合体で、多くの専門的な業界・業種から構成されています。
私たちは製造過程で必要な取り扱いが難しいガスを安全に利用していただけるよう、移動、保管、供給、排気、監視システムに至るまで、関連機器を含めたトータルソリューションをお届けしています。
半導体とは電気を通す「導体」と、電気を通さない「絶縁体」の両方の性質を持っているものです。条件によって電気の流れを制御することができる特徴があることから、慣用的に半導体と呼ばれています。 この特徴を活用して電化製品や電子機器の頭脳であるCPUなど、いまではなくてはならない中心的役割を果たしています。
半導体をつくる過程の中に様々なガスが使われています。
これらは半導体材料ガス(Electronic Specialty Gases)の事を指し、主に電子機器の製造や半導体製造プロセスでさまざまなガスが活躍しています。
これらのガスは非常に高い純度が要求され、微量の不純物も含まれてはならないため、非常に特殊な製造プロセスが必要です。
半導体製造に使用される代表的なガス | |||
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成膜用 | 亜酸化窒素 | N2O | SiO2の減圧/常圧CVD、SIPOSのCVD |
アンモニア | NH3 | Siの熱窒化、SiNxのCVD | |
オゾン | O3 | SiO2の常圧TEOS-CVD | |
酸素 | O2 | Siの熱酸化、SiO2のCVD | |
モノシラン | SiH4 | 熱分解によるSi、poly-Siの成長、SiO2、SiNx、SiON などのCVD | |
ジクロロシラン | SiH2Cl2 | SiNx、WSixのCVD | |
ジシラン | Si2H6 | Si-GeのCVD | |
六フッ化タングステン | WF6 | W、WSixのCVD | |
四塩化チタン | TiCl4 | H2、N2、NH3などとー緒にTiNのCVD | |
工ッチング用 | 一酸化炭素 | CO | SiO2工ッチング |
塩素 | Cl2 | Si、Poly-Si、Al工ッチング | |
三塩化ホウ素 | BCl3 | Al工ッチング | |
臭化水素 | HBr | Si、POly-Siの工ッチング | |
四フッ化炭素 | CF4 | SiO2、SiNxの工ッチング | |
六フッ化硫黄 | SF6 | Si系の工ッチング、チャンバークリーニング | |
三フッ化窒素 | NF3 | Si系の工ッチング | |
不純物ソース用 | アルシン(SDS®) | AsH3 | イオン注入 プラズマ浸漬ドーピング |
三フッ化ホウ素(SDS®) | 11BF3 | イオン注入 プラズマ浸漬ドーピング エピタキシー 拡散 | |
四フッ化ゲルマニウム(SDS®) | GeF4 | イオン注入 | |
ホスフィン(SDS®) | PH3 | イオン注入 プラズマ浸漬ドーピング | |
四フッ化ケイ素(SDS®) | SiF4 | イオン注入 | |
ホスフィン混合 | PH3 | イオン注入 プラズマ浸漬ドーピング | |
アルシン(SDS®)混合 | AsH3 | イオン注入 プラズマ浸漬ドーピング | |
トリメチルホスファイト(TMP) | PO(OCH3)3 | TEOS-CVDのリンソース(常温で液体) | |
トリメチルボレート(TMB) | B(OCH3)3 | TEOS-CVDのボロンソース(常温で液体) | |
その他用 | 窒素 | N2 | 熱処理、キャリア、パージ、フォーミング |
水素 | H2 | エピキャリア、水素終端、パイロジェニック | |
アルゴン | Ar | 熱処理、スパッタリングのノックオン | |
炭酸ガス | CO2 | 純水バブリング | |
オゾン | O3 | 純水バブリング | |
三フッ化窒素 | NF3 | チャンバークリーニング |
上記のガス種は一例です。ご希望のガスをご用意いたしますのでご相談ください。
製品の詳細はこちらをご覧ください。
半導体・特殊材料ガス 大陽日酸株式会社
http://www.tn-denzaigas.jp/jp/index.html
半導体製造に使用される材料ガスの多くは、物性的に危険な性質を有し、人体や環境に有害な成分も含んでいる為、取り扱いには十分な注意が必要です。
その為、供給から排出されるまで安全且つ高品質に利用が出来るガス設備が必要不可欠です。
大陽日酸グループは材料ガスから排ガス処理まで一貫した最適なマネジメント&サービスをご提供し、トータル・ソリューションでお客様をサポートいたします。